普拉勒CVD、MOCVD專用氫氣發生器是普拉勒（南京）儀器科技有限公司供應的產品，該公司是實驗室前處理設備的主要供應商。這款發生器專為化學氣相沉積（CVD）和金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）技術設計。
 

基本信息 

1.工作原理：主要基于電解水技術。在電解池中，通過施加電壓使水分子分解為氫氣和氧氣。氫氣隨后經過一系列的處理步驟，如氣液分離、干燥和純化，最終獲得高純度的氫氣。這些處理步驟有助于去除氫氣中的雜質和水分，確保氫氣的純度和穩定性。 

2.技術參數：氫氣純度可達99.999% - 99.99999%，氫氣流量為1L - 17L/min，輸出壓力0 - 80psi（約0.5MPa），壓力穩定性0.001MPa，供電電源220V±10%、50HZ，消耗功率8kw（HYDROGEN - 17L），純水需求2MΩ&1L/h，氫氣容積20L（HYDROGEN - 17L），環境溫度1 - 40℃，相對濕度85%，海拔高度2000米，外形尺寸80x90x100（WxDxHcm）（HYDROGEN - 17L），凈重約200kg（HYDROGEN - 17L）。 

產品特點 

1. 高純度輸出：能夠穩定產生高達99.999%至99.99999%純度的氫氣，確保在薄膜生長過程中不受雜質的影響，從而提高最終產品的質量和性能。采用英國Peculiar的離子膜技術和分子篩耐用干燥劑，以及先進的氫/水分離技術和除濕處理，有效分離并去除氫氣中的水分，保證輸出氫氣的純凈度。 

2. 精確的流量和壓力控制：配備高精度的流量和壓力調節系統，因為在CVD和MOCVD過程中，氫氣的流量和壓力直接影響薄膜的生長速率和均勻性。通過精確控制這些參數，可以優化薄膜的性能，滿足不同的應用需求。還集成微電腦控制系統，實時監測和調整壓力與流量，保持氫氣輸出的穩定性和可靠性。 

3. 多重安全性能：考慮到氫氣的易燃性，這類氫氣發生器設計了多重安全措施，包括泄漏監測、自動關閉系統以及防爆構造，確保實驗室和生產環境的安全。 

4. 創新技術應用：通常采用先進技術，如固態聚合物電解質（SPE）技術，以確保產生高純度的氫氣，同時具備穩定的壓力輸出，這對于半導體生產中的清洗、退火、賦活處理以及硅晶片的取向和外延生長調控等關鍵過程至關重要。 

5. 環保與安全設計：采用無堿液電解技術，直接電解純水，減少環境污染；同時，所有材料選擇均符合高標準環保要求，確保操作過程的安全。 

6. 自動化與易用性：操作過程簡便，同時配備了直觀的用戶界面和自動化控制系統，大大提升了實驗和生產的效率。 

應用領域 

1. CVD和MOCVD技術：作為還原劑和載氣，在CVD和MOCVD過程中起著至關重要的作用。通過提供高純度的氫氣，確保薄膜生長的純度和質量。 

2. 半導體制造：在半導體制造領域具有廣泛的應用，為化學反應提供所需的還原劑或保護氣氛。可用于清洗硅片表面、去除氧化物和氮化物等雜質，提高薄膜的純度和質量；還可用于半導體生產中的清洗、退火、賦活處理以及硅晶片的取向和外延生長調控等關鍵過程。 

3. 其他科研領域：在生物學實驗、物理學研究以及氫能源開發和燃料電池的研究中也發揮著重要的作用。 

使用與維護 

使用前 

1）檢查設備：仔細檢查發生器外觀是否完好，電源連接是否正常，并核對裝箱單上的品名數量是否齊全。同時，確保儀器O?口暢通，加液口蓋子取下以便注液。 

2）環境準備：選擇一個具有良好通風性、遠離熱源、無震動、無陽光直射、無粉塵和腐蝕性氣體的場所放置。環境溫度應控制在0℃ - 40℃，環境相對濕度應不超過85%。 

3）正確接線與確認參數：確保設備接線正確，電源輸入電壓、電流及氫氣純度、流量等參數符合要求。 

使用中 

1）禁止私自調整：嚴禁在設備運行中隨意調整安全保護參數，如電流和氫氣流量，并且不應在未經授權的情況下進行機內部件的更換或調整。 

2）良好通風與禁止危險操作：確保設備使用區域通風良好，不得將設備置于爆炸危險環境中，如靠近火源或易燃物旁。 

3）防止氣體泄漏：確保氫氣發生器輸出口氣管連接正確，防止氫氣泄漏。 

4）避免異常工作：在使用過程中，如發生器出現異常工作情況，須立即停機檢查，并由專業人員進行問題排查和解決。 

使用后 

1）檢查輸出口氣管：在供氫前，必須檢查氫氣發生器輸出口的氣管是否已正確連接。 

2）斷開電源前操作：在關閉并斷開電源前，應先拔掉輸出口氣管，避免殘留氫氣造成的安全隱患。 

保養和檢修 

1）定期維護清潔：為延長設備使用壽命并保持其高效運行，必須定期對氫氣發生器進行維護保養，包括清洗和更換吸附劑等關鍵部件。 

2）記錄維護信息：每次維護檢查后，應詳細記錄設備狀態、檢查人員信息及維護日期，以備后續查看和故障排查。 

常見問題解決方案 

1）避免氫氣泄漏的措施：定期檢查設備氣路的密封性，發現問題及時修復，并使用符合標準要求的設備來運輸和存儲氫氣。 

2）保持氫氣純度的方法：嚴格遵守使用規范，定期更換吸附劑，并使用相同類型和規格的吸附劑，以確保氫氣的純度。